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中圖儀器VT6000共聚焦晶圓溝槽輪廓尺寸測量顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

VT6000高分辨率超景深共聚焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，主要采用3D捕獲的成像技術(shù)顯微成像測量，具有較高的三維圖像分辨率。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

VT6000大傾角超清納米共聚焦測量顯微鏡用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。它是基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

中圖儀器VT6000高分辨率共聚焦成像顯微鏡系統(tǒng)基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析。

VT6000共軛共焦顯微鏡測量技術(shù)基于光學(xué)共軛共焦原理，以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

VT6000系列3D微觀形貌共聚焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，3D 建模算法等，對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量。對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。