中圖儀器SJ6000線(xiàn)性度測(cè)量激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。

SJ6000線(xiàn)性度測(cè)量激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

主要鏡組圖

其中，線(xiàn)性鏡組為標(biāo)配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

線(xiàn)性測(cè)量配置及使用方法

線(xiàn)性測(cè)量（線(xiàn)性軸位置精度測(cè)量的簡(jiǎn)稱(chēng)）配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線(xiàn)性鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成，可滿(mǎn)足0~80m范圍內(nèi)的線(xiàn)性測(cè)量。其中，線(xiàn)性測(cè)量包括定位精度測(cè)量、重復(fù)定位精度測(cè)量和設(shè)備反向間隙測(cè)量等。

線(xiàn)性鏡組可以針對(duì)不同方向的運(yùn)動(dòng)軸而搭建相應(yīng)的測(cè)量光路，如下圖：

▲水平軸的線(xiàn)性測(cè)量示意圖

▲垂直軸的線(xiàn)性測(cè)量示意圖

SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件可以將線(xiàn)性測(cè)量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表，該表涵蓋了各個(gè)測(cè)量點(diǎn)的補(bǔ)償值，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)制造商允許通過(guò)修改運(yùn)動(dòng)軸的補(bǔ)償值來(lái)消除該運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。

線(xiàn)性測(cè)量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時(shí)間的目標(biāo)采集兩種方式，普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式，即：被測(cè)運(yùn)動(dòng)軸需設(shè)定若干個(gè)等距的定位點(diǎn)，當(dāng)運(yùn)動(dòng)軸移動(dòng)到設(shè)定的定位點(diǎn)時(shí)，需設(shè)置停留時(shí)間，以供SJ6000測(cè)量軟件進(jìn)行當(dāng)前點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集。

線(xiàn)性測(cè)量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線(xiàn)性位移平臺(tái)、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線(xiàn)性測(cè)量。

SJ6000激光干涉儀非接觸式、高精度的特點(diǎn)使其適用于各種復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，不僅僅局限于運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，還可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線(xiàn)性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設(shè)備性能，減少維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間，為制造業(yè)提供了一種精密的測(cè)量檢測(cè)方式。

部分技術(shù)指標(biāo)

主機(jī)

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

預(yù)熱時(shí)間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補(bǔ)償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線(xiàn)性測(cè)量距離：(0~80)m (無(wú)需遠(yuǎn)距離線(xiàn)性附件)

角度測(cè)量范圍：±10°

平面度測(cè)量范圍：±1.5mm

直線(xiàn)度測(cè)量范圍：±3mm

垂直度測(cè)量范圍：±3/M mm/m

便攜箱尺寸：613*460*230mm

標(biāo)準(zhǔn)配置重量：18kg

懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。

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