SJ6000超高精度激光干涉儀采用高性能的穩(wěn)頻氦氖激光器，采用邁克爾遜干涉原理的測(cè)量?jī)x器。具有測(cè)量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。在計(jì)量領(lǐng)域中可作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、精密測(cè)量、自動(dòng)化、機(jī)器人、3D打印等領(lǐng)域。

精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

功能廣

（1）可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；

（2）可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

軟件強(qiáng)

（1）友好的人機(jī)界面；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制。

SJ6000超高精度激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

部分技術(shù)指標(biāo)

主機(jī)

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

預(yù)熱時(shí)間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補(bǔ)償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線性測(cè)量距離：(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)

角度測(cè)量范圍：±10°

平面度測(cè)量范圍：±1.5mm

直線度測(cè)量范圍：±3mm

垂直度測(cè)量范圍：±3/M mm/m

便攜箱尺寸：613*460*230mm

標(biāo)準(zhǔn)配置重量：18kg

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