中圖儀器3d光學(xué)檢測(cè)輪廓儀可測(cè)量程范圍內(nèi)的三維尺寸，不過(guò)白光干涉儀主要還是用于檢測(cè)樣品表面的粗糙度、臺(tái)階高、微觀幾何輪廓等參數(shù)，屬于3D測(cè)量領(lǐng)域高精度檢測(cè)儀器之一，其在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測(cè)精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級(jí)和亞納米級(jí)超精密加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它的儀器無(wú)法達(dá)到其精度要求。

性能特點(diǎn)

1、參數(shù)測(cè)量：粗糙度、圍觀輪廓尺寸、角度、面積、體積；

2、環(huán)境噪聲檢測(cè)：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，納米波動(dòng)，也無(wú)可藏匿；

3、雙重防撞保護(hù)：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石"也能安然無(wú)恙；

4、自動(dòng)拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋，讓3D拼接“天衣無(wú)縫"；

5、雙重振動(dòng)隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動(dòng)山搖，我自巋然不動(dòng)"。

中圖儀器3d光學(xué)檢測(cè)輪廓儀具有測(cè)量精度高、功能全面、操作便捷、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。

中圖儀器讓輪廓測(cè)量?jī)r(jià)格更為實(shí)惠，3d光學(xué)輪廓儀設(shè)備的分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡(jiǎn)便，可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、彎曲變形情況、腐蝕情況、表面缺陷、臺(tái)階高度、波紋度、磨損情況、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。