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SuperViewW1三維光學(xué)輪廓形貌儀是一款既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的光學(xué)檢測(cè)儀器?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中，測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

SuperViewW1光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器，當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時(shí)，觸發(fā)感應(yīng)器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開關(guān)，不再響應(yīng)向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷。其雙通道氣浮隔振系統(tǒng)，既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配空壓機(jī)，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

中圖儀器輪廓儀檢測(cè)儀器可廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械加工、汽車、軸承、機(jī)床、模具、精密五金、光學(xué)加工等行業(yè)。該儀器可以對(duì)零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測(cè)量，尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度檢測(cè)，如圓弧面和球面、異型曲面進(jìn)行多種粗糙度參數(shù)、微觀輪廓度參數(shù)的測(cè)量。

中圖儀器輪廓儀接觸式測(cè)量?jī)x采用超高精度衍射光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)、超高直線度研磨級(jí)摩擦導(dǎo)軌、高性能伺服驅(qū)動(dòng)電機(jī)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)工件表面粗糙度和輪廓進(jìn)行高精度測(cè)量和分析。測(cè)針會(huì)自動(dòng)接觸工件表面，并按設(shè)定的位置掃描；可高精度地測(cè)量精密加工零部件的粗糙度和輪廓形狀，再選擇所需評(píng)價(jià)參數(shù)即可進(jìn)行評(píng)價(jià)。

中圖儀器3d視覺輪廓儀測(cè)量中提供自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能、批量測(cè)量、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化功能。分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。

中圖儀器3d輪廓掃描儀是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。