工作原理：

　　多普勒效應（DopplerEffect）:任何形式的波傳播，都是由于波源、接收器、傳播介質或中間反射器的運動，會使頻率發(fā)生變化的現(xiàn)象。這種因多普勒效應所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移（DopplerShift）,其頻移大小與介質、波源和觀察物的運動有關。XL激光頭射出的頻率為f0,經(jīng)過反射鏡反射回來到激光頭內(nèi)的探測器，當反射鏡不動時，其反射波頻率fr=f0。當反射鏡以v=dx/dt的速度沿線性軸遠離或者靠近激光頭時，因為光程增加或減少了2vt，反射波fr的數(shù)值會減少或增加2v/λ0，λ0為激光波長。

　　

　　機床激光干涉儀的組件：

　　要測量線性軸的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù)，需要使用激光測量系統(tǒng)的以下組件，主要有：XL激光頭、三腳架和云臺、XC環(huán)境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學鏡組、光學鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。

　　

　　數(shù)控機床維修是一項集計算機、自動控制、自動檢測和電機拖動等于一體的技術，需要數(shù)控機床維修人員掌握大量的專業(yè)知識和豐富的數(shù)控機床維修經(jīng)驗。因此，在日常數(shù)控機床維修中，如何盡快的找到故障原因并排除故障，提高設備完好率，是數(shù)控機床維修人員的首要任務。當出現(xiàn)機床精度異常、零件表面質量變差等問題時，就需要借助一些先進的精度檢測儀器。

　　

　　激光干涉儀作為數(shù)控機床精度常用的檢測工具，能對數(shù)控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉軸分度精度等進行測量。其中線性測量功能通過機床運行一段直線插補程序，能檢測線性坐標軸的定位精度、重復定位精度，反向間隙等。