傳統(tǒng)的粗糙度評定為二維參數(shù)評定，評定的時候在一條線上進行評定，不能夠完整地反映整個表面的全部信息，越來越不能滿足加工行業(yè)的發(fā)展需要。表面形貌的三維評定方法是利用區(qū)域表面獲得所需要的相關(guān)信息，給出表面形成機理信息和研究表面的直觀圖像，三維評定從整體上對零件表面特征進行描述，具有全局性。

　　三維表面粗糙度參數(shù)有很多，今天介紹個參數(shù)Sa。

定義：

　　Sa為表面算術(shù)平均高度，指輪廓表面內(nèi)的點與中心面距離的算術(shù)平均或幾何平均值，在取樣區(qū)域 D 上，被測量的輪廓面和建立的基準面之間的 z 坐標距離的算術(shù)平均，即表面粗糙度曲面方程 z 坐標值的算術(shù)平均。數(shù)學(xué)表達式為

應(yīng)用：

　　Sa常用來描述精密加工表面粗糙度，可以有效地檢測整個區(qū)域的高度特征以便控制加工工藝的制定。對不同的加工工藝方法，其Sa值變化明顯。

晶圓表面粗糙度評定，數(shù)據(jù)由中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀測量得出

歷史：

　　2005 年，在ISO/TC213的新標準草案ISO/TC213N756中對表面三維表征參數(shù)進行了詳細分類，主要分為功能參數(shù)、幅度參數(shù)、空間參數(shù)、綜合參數(shù)、體積參數(shù)共5大類23個參數(shù)，在幅度參數(shù)中就包括Sa。

　　2012年4月1日，標準化組織正式頒布《ISO 25178-2-2012 產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS)--表面結(jié)構(gòu)：區(qū)域--第2部分：術(shù)語、定義和表面結(jié)構(gòu)參數(shù)》，對Sa進行了確認。